·±3V或更好的离子平衡（配合选配的外接回馈系统能达至±1V）

·设备监控接口和声响报警

·外置控制盒

·符合洁净度ISO 14644 Class 4（Fed Std 209e Class 10）

·直送吹风设计能改善离子吹送和静电控制