·±3V或更好的离子平衡（配合选配的外接回馈系统能达至±1V）

·符合ISO 14644 Class 4（Fed std 209e Class 10）洁净标准

·选配外接感应器，设备监控接口，报警和控制管理

·选配的气流定向器

·选配的自动清洁系统