·所有的参数设定都存离子棒内，不需外接控制台

·在脉冲直流或稳态直流的工作模式，所有操作参数均可调整

·多种长度选择，有三款长度是专为EFEMs设计的

·离子输出的监控

·设备监控接口（FMS）警报输出

·单晶硅静电针