·灵敏度M50e：0.05-0.2μm；M65e：0.06-0.2μm；M100e：0.1-1.0μm

·4个通道

·粒径范围：M50e：0.05,0.1,0.15,0.2，μm；

M65e：0.065,0.1,0.15，0.2μm；

           M100e：0.1,0.2，0.5，1.0μm；

·在一个100ml/min+/-10%最佳流量下操作

·兼容腐蚀性液体，包括氟化氢