·灵敏度：40 - 125 nm/100-500 nm
·和许多不同的化学物相兼容
化学物包括：丙二醇甲醚醋酸酯、光刻胶溶剂、氟化氢（HF）和
硫酸
·固态激光二极管
·在线或分批采样能力
·多种通讯协议
